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    SpecEl橢偏儀
    • 名稱:SpecEl橢偏儀
    • 型號:SpecEl
    • 品牌:Ocean Optics
    • 描述:SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實...
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    產品概述
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    SpecEl 橢偏儀

          SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率,吸光率及膜厚的測量。


    技術參數

    波長范圍:

    380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選)

    光學分辨率

    4.0 nm FWHM

    測量精度

    厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

    入射角

    70°

    膜厚

    單透明膜1-5000 nm

    光點尺寸

    2 mm x 4 mm (標準) 或 200 μm x 400 μm (可選)

    采樣時間

    3-15s (小)

    動態記錄

    3 seconds

    膜層數

    至多32層

    參考

    不需要

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